一种电容式加速度传感器设计的研究

• 作者: 温淑慧
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式加速度传感器 差动电容 非线性误差
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 329-332,357
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.02.030

摘要

设计了一种惯性式测振传感器,建立了差动电容式加速度传感器的数学模型,并对其作了特性分析,由给定的非线性误差可以求出质量块相对运动的最大量程.本设计具有电路结构简单,频率范围宽约为0～450HZ,线性度小于1%,灵敏度高,输出稳定,测量误差小等优点,并且通过实验验证了各项性能指标满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温淑慧	燕山大学电气工程学院	21	160	6.0	11.0