光刻膜片在膜片阀中的应用

• 作者: 宁建华
• 来源期刊: 火箭推进
• 关键词: 膜片阀 光刻
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 33-34
• 页数: 2页
• 分类号: V432
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9374.2005.01.007

摘要

介绍了膜片光刻的工艺原理、工艺过程及其特点,论述了利用双面自对准光刻模具与膜片母材厚度之间的关系控制膜片槽深的机理,介绍了光刻膜片在膜片阀中的应用情况,经爆破试验和发动机热试车表明:膜片阀设计合理,膜片光刻工艺可行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁建华		2	14	2.0	2.0