辉光放电清洗效果的质谱分析

• 作者: 查良镇 金奇计 陈旭 黄天斌
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 辉光放电清洗 质谱分析 表面出气
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 真空电子技术
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: O461
• 字数: 1463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.05.008

摘要

在辉光放电清洗的实验研究中, 应用质谱技术进行了出气分析,应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估.实验结果表明,质谱技术能准确地分析表面吸附气体的分压强,氦离子的轰击可去除以及置换出样品中的气体,氮气、氧气和油蒸气在辉光放电清洗后的出气量下降,有利于超高真空的获得和维持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭	清华大学电子工程系	71	482	10.0	20.0
2	查良镇	清华大学电子工程系	25	295	10.0	17.0
3	黄天斌	清华大学电子工程系	3	13	2.0	3.0
4	金奇计	清华大学电子工程系	4	4	1.0	2.0