离子辅助蒸发TixOy制备氧化钛薄膜及特性

• 作者: 胡小锋 薛亦渝 郭爱云
• 来源期刊: 真空
• 学科: 化学
• 关键词: 薄膜 TiO2 Ti3O5 束流密度
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: O614.41+1|TB43
• 字数: 2686字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.06.008

摘要

采用离子辅助沉积的方法,分别以TiO2和Ti3O5为初始膜料在K9玻璃上制备了氧化钛薄膜,并研究了离子束流密度对以Ti3O5为膜料制备的薄膜透射性能的影响.实验结果表明,热处理前薄膜都为无定形结构;热处理后有明显的锐钛矿结构(101)择优取向,以Ti3O5为初始膜料制备的薄膜吸收优于以TiO2为膜料制备的薄膜;薄膜透射率极值随束流密度增大有临界值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛亦渝		48	532	13.0	21.0
2	郭爱云		10	84	6.0	9.0
3	胡小锋		4	26	4.0	4.0