一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用

• 作者: 刘伟 孙红三 张今朝 李晓娜 韩立
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光机 数据格式转换 面向对象的设计 矢量型电子束扫描
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 24-27,45
• 页数: 5页
• 分类号: TP319|TN305.7
• 字数: 3342字
• 语种: 中文

摘要

提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制.该设计已在电工所的科研项目"纳米级电子束曝光系统"中得到应用,被称之为EDF数据格式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	中国科学院电工研究所	422	5903	37.0	59.0
2	张今朝	中国科学院电工研究所	8	16	2.0	3.0
3	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
4	李晓娜	中国科学院电工研究所	12	56	4.0	7.0
5	孙红三		26	176	10.0	12.0