本征微晶硅材料及其在电池中的应用

• 作者: 孙建 张晓丹 朱锋 熊绍珍 耿新华 赵颖 高艳涛 魏长春
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜 微晶硅电池
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 388-390,395
• 页数: 4页
• 分类号: TK514
• 字数: 2013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.05.017

摘要

采用VHF-PECVD技术制备了系列不同硅烷浓度和功率的微晶硅薄膜.材料的电学特性和结构特性测试结果表明:制备出了符合太阳电池用的本征微晶硅薄膜.材料应用于电池中,制备出了效率达6.6%的微晶硅电池,没有ZnO背反射电极,而且电池的厚度仅为1.0 μm.