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磨床
磨床
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摘要：
Development of an ultraprecision grinding machine with tfigonal prism type pentahedral structure for 400ramsilicon wafer；……
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文献信息
| 篇名 | 磨床 | ||
| 来源期刊 | 金属加工工艺与设备：英文版 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 磨床 精度控制 三角形棱柱 硅晶片 | ||
| 年，卷（期） | 2005,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 12-14 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TG584 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
磨床
精度控制
三角形棱柱
硅晶片
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金属加工工艺与设备：英文版
主办单位：
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市百万庄大街22号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
170
总下载数（次）
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