氪气与氙气中氟化物杂质净除技术的研究与应用

• 作者: 熊贤信 田明勇 胡小敏 路家兵 陈文宇
• 来源期刊: 深冷技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氪气 氙气 氟化物 确认 净除方法与机理 应用效果
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 设计制造
• 页码范围: 19-25
• 页数: 7页
• 分类号: TQ116.4
• 字数: 5782字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.978-7-807.2005.01.005

摘要

经过近10年的探索、研究与实践,在国内最先发现并确认了采用深冷法分离空气生产的氪气与氙气中存在着三种氟化物杂质.为净除这些有害杂质,研制出了一种专用净化材料和成套终端净化装置,这种装置可同时有效地将这三种利用其他方法难以净除的氟化物彻底清除干净.该净除方法经实际应用并与国外其他净除方法相比较,优点突出.