离子注入对二氧化锡薄膜的改性作用

• 作者: 张涛 朱民 解延雷 辛督强
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 锡 离子注入 二氧化锡(SnO2)
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 离子束技术
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 3017字
• 语种: 中文

摘要

对溅射沉积制成的氧化锡薄膜进行了钨离子注入、氧离子注入和退火处理,并用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)分析了薄膜,研究了注入对薄膜相变的影响.发现在室温下溅射沉积形成的非晶态SnO2薄膜,注入氧离子后导致了非晶态SnO2向晶态SnO2的转变;注入钨离子则导致了SnO在非晶态薄膜中的形成.而在已经注入了钨离子的薄膜中再注入氧离子可以形成Sn3O4.实验表明,注入钨离子可减少由氧和锡组成相的氧、锡比率,而注入氧离子则可增加这种比率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛		13	63	5.0	7.0
2	辛督强		5	46	4.0	5.0
3	朱民		8	50	4.0	7.0
4	解延雷		5	46	4.0	5.0