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摘要:
采用多种传输线模型方法,测量了p型GaN上的欧姆接触的比接触电阻率.通过比较和分析不同测量方法所得的结果之间的差异,得出了一个准确、可靠测量p型GaN上的欧姆接触的比接触电阻率的方法--圆点传输线模型方法.利用该方法优化了p型GaN上欧姆接触的退火温度,在氧气气氛中650℃退火后获得了最优的欧姆接触,其比接触电阻率为5.12×10-4Ω·cm2.
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文献信息
篇名 P型GaN欧姆接触的比接触电阻率测量
来源期刊 半导体学报 学科 工学
关键词 p型氮化镓 比接触电阻率 传输线模型 圆形传输线模型
年,卷(期) 2005,(5) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 965-969
页数 5页 分类号 TN312.8
字数 2655字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.05.022
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研究主题发展历程
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p型氮化镓
比接触电阻率
传输线模型
圆形传输线模型
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引文网络交叉学科
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半导体学报(英文版)
月刊
1674-4926
11-5781/TN
大16开
北京912信箱
2-184
1980
eng
出版文献量(篇)
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35317
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:National Basic Research Program of China
官方网址:http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:农业
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
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