溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜及其光电性能研究

• 作者: 胡小锋 葛春桥 薛亦渝 郭爱云
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO薄膜 溶胶凝胶 光电性能
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 20-21,27
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1302字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2005.01.005

摘要

采用溶胶-凝胶方法制备了AZO半导体透明导电薄膜,并研究了退火温度对其结构和性能的影响.结果表明:AZO薄膜的晶粒成等轴状,薄膜的电阻率在(2～8)×10-3 Ω·cm之间,平均透射率在80%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛亦渝	武汉理工大学材料科学与工程学院	48	532	13.0	21.0
2	葛春桥	武汉理工大学材料科学与工程学院	7	90	5.0	7.0
3	郭爱云	武汉理工大学材料科学与工程学院	10	84	6.0	9.0
4	胡小锋	武汉理工大学材料科学与工程学院	4	26	4.0	4.0