低电阻P-DBR结构的模拟分析

• 作者: 廉鹏 沈光地 渠红伟 盖红星 董立闽 邓军 郭霞 马丽娜
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 渐变布拉格反射器 渐变形状 价带势垒
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.06.015

摘要

设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响.利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实验数据基本吻合.