EB-PVD法制备微层材料的研究

• 作者: 孟松鹤 李晓海 陈贵清 韩杰才
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 航空航天
• 关键词: 电子束物理气相沉积 微层材料 直接气相沉积
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: V25
• 字数: 3502字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2005.06.003

摘要

简要介绍了用于电子束物理气相沉积的设备及其发展,阐述了利用该技术制备微层材料的优点,同时对制备工艺和相应的材料性能作了详细的介绍,并指出使用电子束物理气相沉积技术制备微层材料具有广阅的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩杰才	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	298	4663	35.0	52.0
2	孟松鹤	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	137	1793	22.0	36.0
3	陈贵清	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	26	485	12.0	21.0
4	李晓海	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	7	145	5.0	7.0