sol-gel法制备(002)高度定向的Li:ZnO薄膜

• 作者: 刘龙春 朱兴文 陆液
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 氧化锌薄膜 sol-gel法 掺杂 定向
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TM28
• 字数: 2472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.05.010

摘要

用sol-gel法在玻璃载玻片上旋涂3～9层制备氧化锌薄膜.用X射线衍射、扫描电镜等研究了掺Li、旋涂层数、溶胶的浓度以及热处理温度对氧化锌薄膜(002)定向性的影响.结果表明,溶胶中掺入一定量的Li可显著地促进ZnO沿(002)生长;浓度为0.45mol/L旋涂3层或浓度为0.25mol/L旋涂7层的样品,即使有Li的掺入也不能呈现较好的(002)定向性,这是由于薄膜太薄所致;提高热处理温度至610℃,有利于薄膜(002)高度定向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱兴文	上海大学材料科学与工程学院	8	56	4.0	7.0
2	陆液	上海大学材料科学与工程学院	5	53	4.0	5.0
3	刘龙春	上海大学材料科学与工程学院	1	12	1.0	1.0