图形反转双层光刻胶金属剥离技术

• 作者: 孙强 张霞 李春燕 王宇 范惠娟
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 光刻 图形反转 双层光刻胶 剥离
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 140-141
• 页数: 2页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 1692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2005.03.003

摘要

金属剥离技术是用于空间用太阳电池电极的工艺技术.为了实现真空蒸镀直接剥离7μm金属层的目的,开发了图形反转双层光刻胶金属剥离技术.采用图形反转胶和正型光刻胶,实现了理想的光刻胶剖面图形,检测表明金属厚度达到7 μ m.此技术已经用于高效太阳电池的批量生产中.空间环模条件考核表明此工艺制作的电极满足空间环境的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙强	中国电子科技集团公司第十八研究所	32	139	7.0	10.0
2	张霞	中国电子科技集团公司第十八研究所	2	7	1.0	2.0
3	李春燕	中国电子科技集团公司第十八研究所	6	46	2.0	6.0
4	王宇	中国电子科技集团公司第十八研究所	10	10	2.0	3.0
5	范惠娟	中国电子科技集团公司第十八研究所	1	6	1.0	1.0