硅衬底上射频集成电感研究

• 作者: 冯冠中 张义门 张玉明
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 平面螺旋电感 电感模型 品质因数 几何参数 工艺参数 ASITIC
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 25-29
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 4111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.01.007

摘要

在分析硅衬底上射频螺旋电感物理模型的基础上,从几何参数、工艺参数及电感组成形式考虑,用模拟软件ASITIC(Analysis and Simulation of Spiral Inductors and Transformers for ICs)对影响电感值和Q值及谐振频率的各参数进行全面详尽的模拟,得出了几条实用的设计原则且用此模拟方法与所得结论均可有效地指导射频集成电路中集成电感的设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张义门	西安电子科技大学微电子所	129	835	15.0	21.0
2	张玉明	西安电子科技大学微电子所	126	777	15.0	20.0
3	冯冠中	西安电子科技大学微电子所	1	19	1.0	1.0