KZ-400离子束刻蚀装置设计中的若干真空问题

• 作者: 凤良杰 徐朝银 董晓浩 赵飞云 高飞
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空配置 有限元分析 润滑剂 质谱分析
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 真空技术应用
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TB753|TH122|TB77
• 字数: 2871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.03.012

摘要

本文解决了KZ-400离子束刻蚀装置设计中遇到的若干真空问题.通过抽速计算选择了合理的真空配置;用有限元分析软件ANSYS计算了真空室的受压形变,优化了真空室的结构,采取了合理的误差补偿措施;并通过摩擦润滑试验和质谱分析检测了二硫化钼润滑剂的真空润滑性能,解决了工作台扫描运动的有效润滑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐朝银	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	24	119	6.0	9.0
2	董晓浩	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	8	75	5.0	8.0
3	赵飞云	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	12	41	3.0	5.0
4	高飞	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	45	265	10.0	14.0
5	凤良杰	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	12	55	4.0	7.0