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摘要:
介绍安捷伦公司的激光干涉仪定位系统的总体结构、功能及特点。给出各种组件的工作、原理及技术参数,包括干涉仪的激光轴板、激光补偿板、远程接收机及激光系统。
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内容分析
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文献信息
篇名 用于VEMbus系统的高性能激光干涉仪定位系统
来源期刊 电子元器件应用 学科 工学
关键词 激光干涉仪 定位系统 激光补偿 远程动态接收机
年,卷(期) 2005,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 53-56
页数 4页 分类号 TN305
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研究主题发展历程
节点文献
激光干涉仪
定位系统
激光补偿
远程动态接收机
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子元器件应用
月刊
1563-4795
大16开
西安市科技路37号海星城市广场B座240
1999
chi
出版文献量(篇)
5842
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7
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11366
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