纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展

• 作者: 冯浩 张铁邦 沈保罗 王均 高见 黄四九
• 来源期刊: 粉末冶金技术
• 学科: 工学
• 关键词: Ti-Si-N 化学气相沉积 物理气相沉积 涂层 微观结构 性能
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 文献综述
• 页码范围: 383-387
• 页数: 5页
• 分类号: TG1
• 字数: 3673字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.05.016

摘要

本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积, 等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响.在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4 基体上的复合涂层 (nc-TiN/a-Si3N4).该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈保罗	四川大学材料科学与工程学院	182	1481	21.0	26.0
2	高见		15	224	8.0	14.0
3	王均	四川大学材料科学与工程学院	76	570	14.0	19.0
4	张铁邦	四川大学材料科学与工程学院	16	67	4.0	7.0
5	冯浩		1	18	1.0	1.0
6	黄四九		1	18	1.0	1.0