AlN薄膜的研究进展

• 作者: 杨克涛 陈光辉
• 来源期刊: 山东陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: AlN薄膜 制备方法 性能 应用
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 4211字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-0639.2005.01.005

摘要

AlN薄膜是宽带隙绝缘材料,在热、电、光和机械等方面具有非常良好的综合性能.本文对近些年来AlN薄膜的制备方法和性能研究作了简要的回顾介绍,阐述了AlN薄膜的应用现状及前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨克涛	南京航空航天大学材料学院	6	75	5.0	6.0
2	陈光辉	南京航空航天大学材料学院	3	28	2.0	3.0