高真空卷绕式硫化锌镀膜设备的研制

• 作者: 杨树本
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 连续 镀膜 硫化锌 坩埚 均匀性 离子源
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 26-28
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 3265字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.05.007

摘要

介绍了ZZLD-2000/1.1高真空连续卷绕式硫化锌镀膜设备的原理、组成、性能及工作过程,并对设计和调试过程中出现的一些问题,进行了讨论分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨树本		1	3	1.0	1.0