利用纳米测量机实现大范围的计量型原子力显微镜

• 作者: 傅星 胡小唐 胡晓东 郭彤 陈津平
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米测量机 计量型原子力显微镜 激光干涉仪 大范围测量
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 1743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2005.01.001

摘要

利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了大范围的计量型AFM,测量范围可以达到25mm× 25 mn×5mm,分辨力为0.1 nm.纳米测量机扩展了普通AFM测头的测量范围,减小了压电扫描器固有特性的影响.运动全范围内的自适应误差补偿通过5个自由度的闭环操作得以实现.系统的高精度是通过3个微型激光干涉仪的零阿贝误差设置,一个表面传感AFM测头以及两个角度传感器实现.系统具有4种工作模式,其中第4种为最佳工作模式.实验结果表明系统具有高精度和大范围的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
3	郭彤	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	46	370	11.0	17.0
4	陈津平	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	30	267	10.0	15.0
5	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	86	712	15.0	23.0