反台晶体及其应用

• 作者: 于小亭 雷震寰
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: +离子束刻蚀 +反台晶体 谐振器 晶体滤波器
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TN752.2
• 字数: 1159字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2005.01.013

摘要

介绍了应用离子束刻蚀技术制作高基频反台晶体谐振器及反台晶体谐振器的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于小亭	山东大学物理与微电子学院	3	4	1.0	2.0
2	雷震寰	山东大学物理与微电子学院	3	4	1.0	2.0