一种制作可变光衰减片的新方法

• 作者: 江征风 胡业发 许远忠 陈思乡
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: 可变光衰减器 金属膜 溅射沉积
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 专题聚焦
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TN92
• 字数: 1749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5561.2005.04.004

摘要

介绍了一种制作可变光衰减器用衰减片的新方法,即采用曲线型沉积孔挡板,结合基片旋转,在玻璃基底上获得厚度线性变化的溅射金属膜层,形成可变光衰减器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡业发	武汉理工大学机电工程学院	177	1769	21.0	31.0
2	江征风	武汉理工大学机电工程学院	93	653	14.0	17.0
3	许远忠		9	57	5.0	7.0
4	陈思乡	武汉理工大学机电工程学院	4	18	3.0	4.0