双层悬空结构射频微电感制作研究

• 作者: 周勇 王西宁 蔡炳初 赵小林
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电感 双层 微电机系统 射频
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TM55
• 字数: 1453字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.01.007

摘要

利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形射频微电感,研究了双层结构微电感中微带线宽度对其性能的影响.研究表明,双层悬空结构的圆形射频微电感不仅具有较大的电感量,而且其Q值也较高;双层微电感的Q值随微带线宽度的增大而升高,而电感量则随微带线宽度的增大而降低.对于微带线宽度为60μm的双层微电感,在频率2～4 GHz时,其电感量可达到5 nH左右,Q值达到20.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周勇	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	35	473	12.0	21.0
2	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	49	769	15.0	26.0
3	赵小林	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	56	549	13.0	20.0
4	王西宁	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	4	36	4.0	4.0