中型真空炉的技术升级

• 作者: 成永东 李明光
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 设备 真空炉 技术升级 设计
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TG454
• 字数: 2268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2005.03.014

摘要

老式真空炉由于采用了油扩散泵和手动控温方式,存在真空系统被油污染和控温精度差的问题,严重影响了真空工艺质量.本文介绍了一种在真空系统和电控加热方面升级的思路和依据,以较少的投入实现了设备的升级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成永东	电子科技大学物理电子学院	2	3	1.0	1.0
2	李明光	电子科技大学物理电子学院	2	3	1.0	1.0