大功率半导体激光器叠层无氧铜微通道热沉

• 作者: 刘云 廖新胜 王立军 秦丽
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微通道热沉 散热模型 结构参数 液压降档
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 109-114
• 页数: 6页
• 分类号: TN365
• 字数: 4244字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2005.01.020

摘要

建立了叠层无氧铜微通道热沉的散热模型,通过理论计算和近似分析,优化了微通道热沉的结构参数;在t=200μm,ωc=60μm,ωf=100 μm,p=2.2×106Pa时,可获得最小热沉热阻Rthm=4.205×10-3K·cm2/W.根据优化结果,考虑微通道取向对液压降的影响,设计了一种新型大功率半导体激光器叠阵用五层结构叠层无氧铜微通道热沉,并结合实际工艺制备了无氧铜微通道热沉.在实际工作中,优化结果往往要跟实际工艺相结合,如优化所得的水压降为2.2×106 Pa,这在实际工艺中较难实现.但在热沉实际工作的水压降条件下,热阻为4.982×10-3K·cm2/W,它能满足高功率激光器叠阵的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室	131	1339	19.0	31.0
2	刘云	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室	99	706	15.0	23.0
3	秦丽	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室	4	61	3.0	4.0
4	廖新胜	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	1	38	1.0	1.0