飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响

• 作者: 于海娟 张丙元 李港 陈檬
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 微加工 光参数影响 烧蚀阈值
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 综述、评述
• 页码范围: 304-307
• 页数: 4页
• 分类号: TG665
• 字数: 3885字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2005.03.004

摘要

分析了国际上飞秒激光同材料相互作用的实验研究,介绍了飞秒激光加工过程中,各个光参数对加工质量和加工尺寸的影响,针对光参数在飞秒激光加工过程中产生的影响做出了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈檬	北京工业大学激光工程研究院	65	286	8.0	14.0
2	于海娟	北京工业大学激光工程研究院	7	76	4.0	7.0
3	李港	北京工业大学激光工程研究院	67	325	8.0	14.0
4	张丙元	北京工业大学激光工程研究院	20	138	6.0	11.0