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MEMS技术应用日趋广泛
MEMS技术应用日趋广泛
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摘要：
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硅基MEMS技术
微电子机械系统
牺牲层
体硅工艺
深刻蚀
MEMS开关技术的研究与进展
MEMS
电源滤波器
电磁兼容
EMI
基于MEMS技术的微型阀研究
微机电系统
微推进系统
静电微型阀
压电微型阀
MEMS在汽车电器电子技术中的应用现状与发展趋势
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期刊影响力
半导体技术
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1003-353X
CN：
13-1109/TN
开本：
大16开
出版地：
石家庄179信箱46分箱
邮发代号：
18-65
创刊时间：
1976
语种：
chi
出版文献量（篇）
5044
总下载数（次）
38
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