玻璃基板上硅薄膜附着力的研究

• 作者: 姜英娜 宋晨路 朱建强 韩高荣
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 镀膜玻璃 硅薄膜附着力 划痕法
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与研制
• 页码范围: 3-4,21
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171
• 字数: 1585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2005.02.001

摘要

采用APCVD工艺,以SiH4为原料在不同温度的玻璃基板上硅质薄膜的制备,采用划痕法测量薄膜与基板之间的附着力,研究了薄膜附着力随基板温度变化趋势.说明了吸附、扩散的增强以及沉积速率的增大等都会导致薄膜附着力的增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩高荣	浙江大学无机非金属材料研究所	187	1971	24.0	35.0
2	宋晨路	浙江大学无机非金属材料研究所	37	372	10.0	18.0
3	朱建强		1	3	1.0	1.0
4	姜英娜		2	4	1.0	2.0