光刻技术在流体动力密封研究中的应用

• 作者: 宁建华
• 来源期刊: 火箭推进
• 关键词: 光刻 密封 应用
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺与材料
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TH136
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9374.2005.04.008

摘要

主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况,提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径.结果表明,采用标准MEMS光刻工艺技术和化学铣切工艺技术,可加工出满足设计要求的螺旋槽动环.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁建华		2	14	2.0	2.0