影响高真空钨灯丝扫描电镜成像因素分析

• 作者: 陈晓霞
• 来源期刊: 武钢技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 成像因素 图像质量
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 科研与生产
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TG115.21+5.3
• 字数: 2592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-4371.2005.03.009

摘要

扫描电子显微镜是一种高精密仪器,结构复杂,成像过程中,影响图像质量的因素较多,对其中几个主要因素,例如加速电压、发射电流、束斑尺寸和工作距离等在成像过程中的作用以及如何加以控制进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓霞		6	37	3.0	6.0