基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器

• 作者: 张洪泉 施云波 董新平 郭建英
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学毒剂 声表面波 传感器芯片 敏感膜固定化
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2055字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2005.09.016

摘要

阐述了声表面波(SAW)传感器的结构与工作原理;介绍了采用MEMS技术加工传感器芯片和敏感膜固定化的关键工艺;给出并分析了传感器的主要特性.试验和测试结果表明:传感器具有灵敏度高、响应速度快、抗汽油干扰等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭建英	哈尔滨理工大学测试技术与通讯工程学院	71	768	14.0	24.0
2	施云波	哈尔滨理工大学测试技术与通讯工程学院	54	262	9.0	12.0
4	张洪泉	哈尔滨理工大学测试技术与通讯工程学院	14	100	6.0	9.0
8	董新平	哈尔滨理工大学测试技术与通讯工程学院	6	20	3.0	4.0