准分子激光光束均匀技术

• 作者: 叶震寰 李红霞 楼祺洪 董景星 魏运荣
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 光束均匀 蝇眼 光刻
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 综述、评述
• 页码范围: 207-209,212
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.2
• 字数: 3308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2005.02.005

摘要

由于放电结构及谐振腔的限制,准分子激光光斑呈现不均的分布.介绍了各种均匀器的工作原理,从衡量光束均匀性的各项指标出发,评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	楼祺洪	中国科学院上海光学精密机械研究所	131	1539	22.0	31.0
2	董景星	中国科学院上海光学精密机械研究所	93	890	17.0	23.0
3	魏运荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	86	833	17.0	23.0