压电泵技术的发展及其应用

• 作者: 焦小卫 赵淳生 黄卫清
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 压电泵 双压电晶片 压电振子
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TM34
• 字数: 1769字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2005.05.021

摘要

压电泵是近年来发展起来的一种新型流体泵,是一种利用逆压电效应的新型驱动器,与传统流体泵相比,压电泵具有自身的许多优点,在微机电系统和微流量控制方面有着广阔的应用前景.为此世界各国和科研机构都在大力进行压电泵技术的研究.本文概述了国内外各种压电泵的工作原则和最新研究进展,介绍了压电泵的应用前景,指出了今后压电泵的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄卫清	南京航空航天大学超声电机研究中心	124	1217	19.0	27.0
2	赵淳生	南京航空航天大学超声电机研究中心	269	4525	31.0	51.0
3	焦小卫	南京航空航天大学超声电机研究中心	1	49	1.0	1.0