晶体生长控制中的高精度控温系统

• 作者: 杨小玲 杨琦
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体生长 控温 信号调理
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 2267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2394.2005.01.016

摘要

介绍晶体生长控温系统的组成,微弱温差信号的接口调理方法及智能控制器的分级控制方式.系统控温范围(25～75)℃,控温精度达0.01℃,分辨率0.001℃,投入使用多年来,工作稳定可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨琦	福州大学物理与信息工程学院	15	148	7.0	12.0
2	杨小玲	福州大学物理与信息工程学院	15	145	7.0	12.0