AlAs/GaAs分布布拉格反射镜(DBR)的反射谱拟合与优化生长

• 作者: 刘如彬 姚江宏 张冠杰 林耀望 王占国 皮彪 舒强 舒永春 许京军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分布布拉格反射镜 理论计算 优化生长 高反射率
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 977-981
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.054
• 字数: 3107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.004

摘要

对分布布拉格反射镜(DBR)的原理和特征进行了分析,使用传输矩阵方法计算了不同对数GaAs/AlAs反射镜的反射率曲线.利用分子束外延(MBE)设备生长了波长为920nm和980nm的半导体多层膜DBR反射镜,分析了实验测得的反射谱与理论拟合曲线之间的差异及其产生原因,实现了材料的优化生长,获得了反射率大于99%、中心波长和带宽接近理论计算值的DBR材料.该DBR的反射谱拟合与优化生长研究可应用于VCSEL和VECSEL激光器.