微型压电泵系统的设计研究

• 作者: 刘国君 刘建芳 杨树臣 程光明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁阀 微型泵 压电泵 迭片结构
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 318-323
• 页数: 6页
• 分类号: TH38|TN384
• 字数: 2745字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.03.012

摘要

提出了一种整机采用迭片式结构,单向阀采用悬臂梁式薄片阀的新结构微型压电泵,设计、制作了实验用样机泵,设计了正弦信号发生器电路,将产生的正弦信号经过电压放大和功率放大后,作为该泵的电源驱动,通过对该泵的工作性能进行较为系统的实验测试和研究,提出了利用多腔体串联结构提高压电泵性能的优化设计方案.实验测试表明,该泵工作性能稳定(样机尺寸:φ15 mm×1.8 mm;50 V正弦信号输入,80 Hz条件下,最大输出压力22 kPa,流量达到3.6 ml/min).该泵的设计方法及所用制作工艺可用于研发大量生产的实用微型泵.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程光明	吉林大学机械科学与工程学院	164	2317	26.0	37.0
2	刘建芳	吉林大学机械科学与工程学院	48	387	11.0	17.0
3	刘国君	吉林大学机械科学与工程学院	32	258	10.0	14.0
4	杨树臣	吉林大学机械科学与工程学院	2	40	2.0	2.0