静电微电机及其可靠性分析

• 作者: 周健斌 孟光 张文明
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微电子机械系统 静电微电机 可靠性
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 50-56
• 页数: 7页
• 分类号: TP202
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2005.01.010

摘要

自1987年首台静电微电机诞生以来,微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)的研究和开发已取得突破性进展.对静电微电机的可靠性研究现状进行综述,介绍静电微电机主要结构元件呈现的失效模式和机理,以及摩擦、磨损、粘附等特性对微电机运行稳定性的影响,从不同角度探讨减少微电机失效的问题,介绍各种测试方法、检测仪器、润滑抗粘附材料和解决方案,并对相关领域的工作进展进行总结和展望.