波导薄膜厚度测量原理的理论分析

• 作者: 赵毅红 陈荣发
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 膜厚测量 波导薄膜 电磁场理论 励磁电流
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.01.007

摘要

运用电磁场理论对金属波导膜厚测量的原理进行了详细分析,并且研制了一台膜厚测量仪,理论和实践表明:可以通过测量复合金属波导膜系励磁电流的脉冲波形来控制薄膜的生长厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈荣发	扬州大学机械工程学院	51	260	8.0	13.0
2	赵毅红	扬州大学机械工程学院	27	84	5.0	8.0