微型泵的加工技术及应用

• 作者: 谢里阳 陆峰
• 来源期刊: 流体机械
• 学科: 工学
• 关键词: 微流体系统 微型泵 驱动 流量 DRIE技术
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 技术综述
• 页码范围: 29-34
• 页数: 6页
• 分类号: TH137.51|TP271
• 字数: 4363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-0329.2005.06.009

摘要

微型泵是微流体系统中的重要执行元件,标志着微流体系统的发展水平.详细介绍了微型泵的种类、加工技术、应用前景以及国内在该领域的研究状况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢里阳		328	3556	30.0	41.0
2	陆峰		9	192	7.0	9.0