微执行器驱动机理研究

• 作者: 张万里 彭斌 蒋洪川 谌贵辉
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械系统 致动器 微马达 原理
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 61-63,51
• 页数: 4页
• 分类号: TM38
• 字数: 2199字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2005.01.017

摘要

微电子机械系统(MEMS)技术在未来的发展有着重要的意义.文中介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微马达为例,详细比较了其执行机制和原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋洪川	电子科技大学微电子与固体电子学院	74	586	12.0	19.0
2	张万里	电子科技大学微电子与固体电子学院	142	705	13.0	17.0
3	彭斌	电子科技大学微电子与固体电子学院	87	638	12.0	21.0