高温炉程控系统的研究及应用

• 作者: 冯春春
• 来源期刊: 信息通信
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机控制 VB语言 高温炉
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 专业论坛
• 页码范围: 43-48
• 页数: 6页
• 分类号: TP273
• 字数: 3655字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1131.2005.04.018

摘要

本文结合热处理技术,讨论了高温炉程控系统的设计;硬件设计主要包括温度测量电路、触发电路和接口电路的设计;软件设计主要包括界面、代码和PID控制算法的设计.将该系统应用到BST铁电薄膜制备的热处理工艺中,并通过XRD和SEM分析,好现薄膜结构细致、均匀,晶化较好.