纳米级电容测微系统的研究

• 作者: 史庆伟 周涛 张国雄 郑义忠
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 纳米 电容测微仪 非接触测量
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研制与开发
• 页码范围: 48-50,53
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2005.03.018

摘要

本文首先介绍非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等的关键技术问题,对典型驱动电缆方案作比较.根据原理模型,给出仪器的主要结构.对仪器自身产生的各种误差进行详细的分析,并提出相应的消除或修正方法.换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨率最小达到0.1nm,测量范围±2～±50μm,满量程非线性度优于0.5%.该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度的动、静态微位移测量及纳米定位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	267	3932	30.0	48.0
2	史庆伟	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	11	138	8.0	11.0
3	周涛	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	12	146	7.0	12.0
4	郑义忠	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	769	17.0	25.0