Cd气氛退火对CdZnTe晶片质量影响

• 作者: 万锐敏 姬荣斌 岳全龄 张鹏举 王晓薇 胡赞东 赵增林
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: CdZnTe 退火 Cd沉积相 红外透过率
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 379-383
• 页数: 5页
• 分类号: TN213
• 字数: 2792字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2005.05.008

摘要

在CdZnTe晶体生长时,有时会产生大颗粒的沉积相,严重的影响了CdZnTe晶片的质量,通过电子探针测试证明其为Cd沉积相.采用Cd气氛退火来消除Cd沉积相,可以改善CdZnTe晶片的质量.实验发现:在较高的温度(600℃)条件下,退火可以有效的消除大颗粒(＞5 (m)的Cd沉积相,改善CdZnTe晶片红外透过率、X射线双晶回摆曲线半峰宽(FWHM)和腐蚀坑密度(EPD).在此条件下对CdZnTe晶片进行退火,有助于提高CdZnTe晶片的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万锐敏		7	21	3.0	4.0
2	姬荣斌		50	200	7.0	10.0
3	胡赞东		6	23	3.0	4.0
4	张鹏举		6	16	3.0	3.0
5	赵增林		7	39	3.0	6.0
6	岳全龄		1	6	1.0	1.0
7	王晓薇		1	6	1.0	1.0