半导体薄膜特性实时检测的新装置

• 作者: 安毓英 林晓春 胡志敏
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 实时检测 多光束光学传感器 光电检测电路 薄膜应力
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(半导体检测与测试技术)
• 页码范围: 25-27,33
• 页数: 4页
• 分类号: TN247|TN249|TN305
• 字数: 2445字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.07.008

摘要

利用光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路的检测薄膜特性装置.通过对反射光光点间距变化和光强振荡的检测,实时检测薄膜应力、厚度、生长率等常数的信息.通过理论分析,该装置厚度测量的精度优于2nm,应力的灵敏度优于5MPa,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	安毓英	西安电子科技大学技术物理学院	124	823	15.0	21.0
2	林晓春	西安电子科技大学技术物理学院	36	305	9.0	16.0
3	胡志敏	西安电子科技大学技术物理学院	3	24	2.0	3.0