sol-gel法制备ATO透明导电薄膜

• 作者: 吴春春 杨辉 陆文伟
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 Sb掺杂SnO2薄膜 溶胶–凝胶 导电性能 稳定性
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 3119字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.03.014

摘要

以无水SnCl4为原料,通过sol-gel法制备出稳定性很好的SnO2溶胶并由此得到掺杂的SnO2薄膜.利用差热-热重分析、XRD、IR等手段分析了制备薄膜的sol-gel过程,同时运用Hall法测量了薄膜电性能随固化温度的变化.结果表明:Cl-的存在抑制了溶胶的聚合反应,故溶胶的稳定性得以保证,而溶胶的聚合是在薄膜的固化过程中完成的.薄膜中晶粒随固化温度升高呈现指数趋势增大,电阻率随固化温度的升高逐渐减小,在固化温度700℃时达到最低值3.7 Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨辉	浙江大学材料系无机非金属所	356	3707	28.0	43.0
2	吴春春	浙江大学材料系无机非金属所	25	131	7.0	10.0