水基料浆注凝法生产氧化铝陶瓷基片的关键技术

• 作者: 仝建峰 李斌太 杜林虎 陈大明
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 注凝法 氧化铝 基片
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 特种陶瓷及金属封接技术专辑
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174
• 字数: 4376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2005.04.002

摘要

介绍了水基料浆注凝法工业化生产氧化铝陶瓷基片的工艺流程,分析了该工艺与传统采用的有机料浆流延法的不同和优势,着重讲述了作者在具体操作中所解决的关键技术:基片材质组分设计优化、料浆配制技术、组合模具设计制造、氧化-还原引发凝胶化、坯片无(少)变形干燥、基片尺寸精密控制、叠层烧结工艺制度、整平热处理工艺、边角料回收处理再利用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜林虎		7	138	4.0	7.0
2	陈大明		70	789	16.0	24.0
3	李斌太		23	274	11.0	16.0
4	仝建峰		47	457	13.0	18.0