CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型

• 作者: 于峰崎 柯导明 王阳 陈军宁
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 电容 介电常数 聚酰亚胺 灵敏度
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1374-1378
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2092字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.07.017

摘要

对一种与CMOS工艺兼容的电容型湿度传感器进行了理论推导,物理建模和模拟仿真.该湿度传感器是采用梳状铝电极结构,聚酰亚胺作为感湿介质.通过分析感湿介质的介电常数吸附水分后的变化,考虑其电场分布,对电容型湿度传感器的理论模型进行了研究和模拟.利用Matlab软件对理论模型进行仿真,结果表明所建模型比通常采用的Laconte模型更符合实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柯导明	安徽大学电子系	83	423	10.0	17.0
2	陈军宁	安徽大学电子系	160	1135	16.0	26.0
3	于峰崎		3	11	2.0	3.0
4	王阳	安徽大学电子系	6	23	3.0	4.0