牺牲层腐蚀平面二维模拟与仿真

• 作者: 周再发 李伟华 李艳辉
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 牺牲层腐蚀 极坐标腐蚀模型 腐蚀前端浓度 腐蚀速率 计算机仿真
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 532-535
• 页数: 4页
• 分类号: TN407
• 字数: 2961字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.03.019

摘要

介绍了影响氢氟酸溶液腐蚀牺牲层速率的主要因素,阐述了一二阶联合模型以及这个模型的极坐标推广.详细讨论了极坐标扩散方程的数值求解算法,并对算法进行了适当的优化,利用C语言进行了计算机编程实现了对腐蚀过程的仿真,最后给出腐蚀单端开口结构腐蚀过程的仿真结果.